美國NHBB半導體制造和真空極端環境用軸承

在如今，以半導體制造業為代表的先進行業的生產加工環境十分復雜，涉及多種因素，一是真空，許多半導體部件的加工都在真空環境中進行，這就對其中運行的軸承提出了前所未有考驗，二是清潔，真空環境生產的目的就是為了清潔，所以軸承傳統的潤滑方式就不再適合，三是腐蝕，半導體制造產生的雜質中，多有酸性特征，其腐蝕性對相關環節軸承亦有較高的要求。但在半導體制造業中，軸承又是不可或缺的，因此這里使用的軸承就需要耐真空，更清潔，更耐用，以及更耐腐蝕。NTN開發了多種半導體制造業軸承專用材質，以及多種在超高真空環境、清潔環境及腐蝕環境中使用的潤滑劑，滿足了人們對半導體制造業中使用的軸承的期望。

這些材質和潤滑主要包括馬氏體不銹鋼、MoS2磷酸鹽涂層、特殊PTFE涂層、耐腐蝕涂層、陶瓷涂層等等，主要潤滑脂包括低顆粒潤滑脂、通用固體潤滑脂、食品級、高溫、抗放射性潤滑脂、導電潤滑脂（EP-2）、導電氟潤滑脂（EF-2）等等，正是這些新材料，支撐起了半導體制造業用軸承。

這些軸承按使用環境可分為三類，一是航空航天設備，真空設備用的通用真空環境用軸承，二是半導體制造設備，LCD面板制造設備用的清潔環境用軸承，三是金屬板蝕刻設備，顯影劑，清洗設備用的腐蝕環境用軸承，也有三種類型兼備的軸承，這些軸承為半導體工業的發展，提供了重要的支持。