NHBB一種半導體設備用導電軸承的制作方法
1.本實用新型屬于軸承技術領域，尤其是涉及一種半導體設備用導電軸承。
背景技術：
2.軸承是當代機械設備中一種重要零部件。它的主要功能是支撐機械旋轉體，降低其運動過程中的摩擦系數，并保證其回轉精度。半導體設備用的導電軸承要求軸承具備良好的導電功能，目前導電軸承存在以下問題：軸承在使用時存在溝偏的現象，使得設備無法正常使用；而且在導電附件處如果附著有灰塵，影響導電性能。
技術實現要素：
3.本實用新型的目的是提供一種半導體設備用導電軸承，其有效防止出現溝偏的現象，防止導電附件處附著灰塵，提高設備使用壽命，尤其適合用在半導體設備中。
4.本實用新型的技術方案是：一種半導體設備用導電軸承，包括軸承外圈、軸承內圈和滾球，所述的軸承內圈設在軸承外圈內，所述的軸承外圈與軸承內圈之間形成滾道，所述的滾道內滑動設有保護架，在保護架上設有多個滾球，所述的滾球貼合軸承外圈內壁、軸承內圈外壁設置，所述的軸承外圈、軸承內圈之間的左側設有環形左板，該環形左板的外端固定在軸承外圈的內壁處，所述的軸承外圈、軸承內圈之間的右側從左到右依次設有導電件、密封蓋，所述的導電件外端與軸承外圈內壁電連接，導電件的內端接觸在軸承內圈內壁上，軸承外圈外側中間部分環周設有環形沿。
5.優選地，所述的導電件的內端通過彈性塊接觸在軸承內圈內壁上。
6.優選地，所述的環形左板的內端靠近軸承內圈的外壁設置。
7.優選地，所述的導電件為環形黃銅盤。
8.優選地，所述的軸承外圈內壁設有與導電件外端相配合的滑槽，導電件滑動設在滑槽內。
9.優選地，所述的軸承外圈內壁設有與密封蓋外端相配合的滑軌，密封蓋滑動設在滑軌內。
10.本實用新型具有的優點和積極效果是：由于采用上述技術方案，設置的環形沿，有效防止其出現溝偏的現象；設置的密封蓋和環形左板有效防止滾球和導電件表面沾有的灰塵的現象，提高設備使用壽命。
附圖說明
11.圖1是本實用新型的結構示意圖。
12.圖2是本實用新型的a
具體實施方式
17.如圖1、2所示，本實用新型的技術方案為一種半導體設備用導電軸承，包括軸承外圈1、軸承內圈2和滾球3，所述的軸承內圈2設在軸承外圈1內，所述的軸承外圈1與軸承內圈2之間形成滾道，所述的滾道內滑動設有保護架7，在保護架7上設有多個滾球3，所述的滾球3貼合軸承外圈1內壁、軸承內圈2外壁設置，所述的軸承外圈1、軸承內圈2之間的左側設有環形左板6，該環形左板6的外端固定在軸承外圈1的內壁處，所述的軸承外圈1、軸承內圈2之間的右側從左到右依次設有導電件4、密封蓋5，所述的導電件4外端與軸承外圈1內壁電連接，導電件4的內端接觸在軸承內圈1內壁上，軸承外圈1外側中間部分環周設有環形沿8。
18.本實施例中，所述的導電件4的內端通過彈性塊接觸在軸承內圈內壁上。
19.本實施例中，所述的環形左板的內端靠近軸承內圈2的外壁設置。
20.本實施例中，所述的導電件4為環形黃銅盤。
21.本實施例中，所述的軸承外圈1內壁設有與導電件4外端相配合的滑槽，導電件4滑動設在滑槽內。
22.本實施例中，所述的軸承外圈1內壁設有與密封蓋5外端相配合的滑軌，密封蓋5滑動設在滑軌內。
23.本實例的工作過程：安裝時，將環形沿8安裝在軸承座的凹槽內，有效防止軸承在使用時存在溝偏的現象；而且在導電附件處設有的密封蓋5，防止導電件4表面沾有灰塵，提高導電性能。
24.以上對本實用新型的一個實施例進行了詳細說明，但所述內容僅為本實用新型的較佳實施例，不能被認為用于限定本實用新型的實施范圍。凡依本實用新型申請范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本實用新型的**涵蓋范圍之內。
技術特征：
1.一種半導體設備用導電軸承，其特征在于：包括軸承外圈、軸承內圈和滾球，所述的軸承內圈設在軸承外圈內，所述的軸承外圈與軸承內圈之間形成滾道，所述的滾道內滑動設有保護架，在保護架上設有多個滾球，所述的滾球貼合軸承外圈內壁、軸承內圈外壁設置，所述的軸承外圈、軸承內圈之間的左側設有環形左板，該環形左板的外端固定在軸承外圈的內壁處，所述的軸承外圈、軸承內圈之間的右側從左到右依次設有導電件、密封蓋，所述的導電件外端與軸承外圈內壁電連接，導電件的內端接觸在軸承內圈內壁上，軸承外圈外側中間部分環周設有環形沿。2.根據權利要求1所述的一種半導體設備用導電軸承，其特征在于：所述的導電件的內端通過彈性塊接觸在軸承內圈內壁上。3.根據權利要求1所述的一種半導體設備用導電軸承，其特征在于：所述的環形左板的內端靠近軸承內圈的外壁設置。4.根據權利要求1所述的一種半導體設備用導電軸承，其特征在于：所述的導電件為環形黃銅盤。5.根據權利要求1所述的一種半導體設備用導電軸承，其特征在于：所述的軸承外圈內壁設有與導電件外端相配合的滑槽，導電件滑動設在滑槽內。6.根據權利要求1所述的一種半導體設備用導電軸承，其特征在于：所述的軸承外圈內壁設有與密封蓋外端相配合的滑軌，密封蓋滑動設在滑軌內。
技術總結
本實用新型提供一種半導體設備用導電軸承，包括軸承外圈、軸承內圈和滾球，所述的軸承內圈設在軸承外圈內，所述的軸承外圈與軸承內圈之間形成滾道，所述的滾道內滑動設有保護架，在保護架上設有多個滾球，所述的滾球貼合軸承外圈內壁、軸承內圈外壁設置，所述的軸承外圈、軸承內圈之間的左側設有環形左板，該環形左板的外端固定在軸承外圈的內壁處，所述的軸承外圈、軸承內圈之間的右側從左到右依次設有導電件、密封蓋。本實用新型的有益效果是：設置的環形沿，有效防止其出現溝偏的現象；設置的密封蓋和環形左板有效防止滾球和導電件表面沾有的灰塵的現象，提高設備使用壽命。提高設備使用壽命。提高設備使用壽命。
